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ご質問の内容から土木建築技術者ではない施工者の立場の方と思われますが、機械設備基礎図面をこれからご自分で作成して施工しようとされているのでしょうか。

どのような機械設備を既設建屋のどの場所につくるのかわかりませんが、本来は機器側の条件（静止時の荷重、稼働時の荷重、重心位置、アンカーボルトの配置、必要な基礎の寸法、１階の土間コン上に設置するのか２階以上に設置するのか、等）及び既設建屋の図面・計算書をもとに専門の技術者が設計すべきものです。

大型回転機械基礎では防振のため既設建屋構造と絶縁する必要がありますし、複雑な振動解析を行う必要もあります。

例え小規模の機器であっても専門の技術者に相談することをお勧めしますが、予備知識として知っておきたいということであれば、国交省の下記サイトを参照されては如何でしょうか。

http://www.mlit.go.jp/gobuild/kijun/index.htm

ここでは官庁営繕関係技術基準が掲載されていますが、次の基準が多少なりとも施工について参考になると思います。

公共建築改修工事標準仕様書（機械設備工事編）
公共建築設備工事標準図（機械設備工事編（３））